柵距:0.02mm(50線?mm)、0.04mm(25線對/mm) 精度:±0.01mm、±0.008mm、±0.015mm、(20℃ 1000mm) 參考標記:間隔50mm、間隔100mm、間隔200mm、或全量程任意位置設一個絕對位置參考點(ABS) 量程:30000mm以內任意選擇 分辨率:1um、5um 響應速 度:25m/min、 60m/min 工作溫度:0-45℃ 存儲溫度:-40℃-55℃ 輸出信號:TTL方波、HTL方波(5V、12V、15V、24V)、RS422信號、正弦電壓信號1Vp-p
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